The MX63 and MX63L microscope systems are optimized for high-quality inspections of wafers as large as 300 mm, flat panel displays, circuit boards, and other large samples. Their modular design enables you to choose the components you need to tailor the system to your application.
These ergonomic and user-friendly microscopes help increase throughput while keeping inspectors comfortable while they do their work. Combined with OLYMPUS Stream image analysis software, your entire workflow, from observation to report creation, can be simplified.
Functional
Leading-Edge Analysis Tools
The MX63 series’ versatile observation capabilities provide clear, sharp images so users can reliably detect defects in their samples. New illumination techniques and image acquisition options within OLYMPUS Stream image analysis software give users more choices for evaluating their samples and documenting their findings.
The Invisible Becomes Visible: MIX Observation and acquisition
MIX observation technology produces unique observation images by combining darkfield with another observation method, such as brightfield, fluorescence, or polarization. MIX observation enables users to view defects that are difficult to see with conventional microscopes. The circular LED illuminator used for darkfield observation has a directional darkfield function where only one quadrant is illuminated at a given time. This reduces a sample’s halation and is useful for visualizing a sample’s surface texture.
Structure on semiconductor wafer
Condenser
Easily Create Panoramic Images: Instant MIA
With multiple image alignment (MIA), users can stitch images together quickly and easily simply by moving the KY knobs on the manual stage—a motorized stage is not necessary. OLYMPUS Stream software uses pattern recognition to generate a panoramic image, giving users a wider field of view.
Instant MIA image of a coin
Create all-in-focus images: EFI
The Extended Focus Imaging (EFI) function within OLYMPUS Stream captures images of samples whose height extends beyond the depth of focus of the objective and stacks them together to create one image that is all in focus. EFI can be executed with either a manual or motorized Z-axis and creates a height map for easy structure visualization. It is also possible to construct an EFI image while offline within Stream Desktop.
Stud bump on an IC chip
Capture Both Bright and Dark Areas Using HDR
Using advanced image processing, high dynamic range (HDR) adjusts for differences in brightness within an image to reduce glare. HDR improves the visual quality of digital images thereby helping to generate professional-looking reports.
From Basic Measurement to Advanced Analysis
Measurement is essential to quality and process control and inspection. With this in mind, even the entry-level OLYMPUS Stream software package includes a full menu of interactive measurement functions, with all measurement results saved with image files for further documentation. In addition, the OLYMPUS Stream Materials Solution offers an intuitive, workflow-oriented interface for complex image analysis. At the click of a button, image analysis tasks can be executed quickly and precisely. With a significant reduction in processing time for repeated tasks, operators can concentrate on the inspection at hand.
Basic measurement (pattern on a printed circuit board)
Throwing power solution (Cross section of a through hole of PCB)
Automatic measurement solution (Wafer structure)
Efficient Report Creation
Creating a report can often take longer than capturing the image and taking the measurements. OLYMPUS Stream software provides intuitive report creation to repeatedly produce smart and sophisticated reports based on pre-defined templates. Editing is simple and reports can be exported to Microsoft Word or PowerPoint software. In addition, OLYMPUS Stream software’s reporting function enables digital zooming and magnification on acquired images. Report files are a reasonable size for easier data exchange by email.
Stand-Alone Camera Option
Using a DP22 or DP27 microscope camera, the MX63 series becomes an advanced stand-alone system. The cameras can be controlled via a compact box that requires only minimal space, helping users maximize their laboratory space while still capturing clear images and making basic measurements.
Advanced Designed to Support Cleanroom Conformity
The MX63 series is designed to work in a cleanroom and has features that help minimize the risk of contaminating or damaging samples. The system has an ergonomic design that helps keep users comfortable, even during prolonged use. The MX63 series complies with international specifications and standards, including SEMI S2/S8, CE, and UL.
Optional Wafer Loader Integration ― AL120 System*
An optional wafer loader can be attached to MX63 series to safely transfer both silicon and compound semiconductor wafers from a cassette to the microscope stage without using tweezers or wands. Renowned performance and reliability enable safe, efficient front and back macro inspections while the loader helps improve productivity in the laboratory.
MX63 combined with the AL120 wafer loader (200 mm version)
Fast, Clean Inspections
The MX63 series delivers contamination-free wafer inspections. All motorized components are housed in a shielded structure, and antistatic processing is applied to the microscope frame, tubes, breath shield, and other parts. The rotation speed of the motorized nosepieces is faster and safer than manual nosepieces, decreasing the time between inspections while keeping the operator’s hands below the wafer, reducing potential contamination.
Antistatic breath shield
Motorized nosepiece
System Design Achieving Efficient Observations
The XY stage is capable of both coarse and fine stage movements thanks to the combination of a built-in clutch and the XY knobs. The stage helps make observations efficient, even for large samples, such as 300 mm wafers.
The tilting observation tube’s extensive range enables operators to sit at the microscope in a comfortable posture.
System Design Achieving Efficient Observations
The XY stage is capable of both coarse and fine stage movements thanks to the combination of a built-in clutch and the XY knobs. The stage helps make observations efficient, even for large samples, such as 300 mm wafers.
The tilting observation tube’s extensive range enables operators to sit at the microscope in a comfortable posture.
Stage handle with built-in clutch
The tilting observation tube providing comfortable posture
Accepts All Wafer Sizes
Wafer holders and glass plates
The system works with various types of 150–200 mm and 200–300 mm wafer holders and glass plates. Should the size of the wafters change on the production line, the microscope’s frame can be modified at minimal cost. With the MX63 series, different stages can be used to accommodate 75 mm, 100 mm, 125 mm, and 150 mm wafers on the inspection line.
OLYMPUS SZX/SZ 시리즈 실체 현미경은 선명하고 입체적인 화면을 제공하며 편안하며 인체공학적인 디자인을 갖추었습니다. 다양한 어플리케이션에 따라 저배율부터 고배율에 이르기까지 다양한 바디와 광학기능의 선택이 자유롭습니다.
제품종류
SZX16
OLYMPUS SZX16은 900 line pair/mm 의 높은 분해능을 가지고 있어 고사양의 성능을 필요로 하는 어플리케이션에 사용될 수 있도록 제작되었습니다. 0.7x – 11.5x에 이르는 줌 배율과 듀얼터렛을 사용하여 2개의 대물렌즈를 사용하실 수 있습니다.
SZX10
OLYMPUS SZX10은 다양한 대물렌즈에 따라 초점거리(Working Distance)와 보이는 영역의 크기(Field Size)를 사용자의 필요에 따라 다양하게 선택하실 수 있으며, 왜곡현상없는 제품 혹은 샘플의 고유 색감을 그대로 관찰하실 수 있습니다.
SZX7
OLYMPUS SZX7은 7:1 의 줌 비율과 ESD(정전기방지), 발전된 Galilean 광학 시스템을 채택하였으며 경제적인 가격으로 높은 분해능과 다양한 편리성으로 누구나 손쉽게 사용하실 수 있습니다.
SZ61/51
OLYMPUS SZ61/51 은 다양한 Application에 적용할 수 있는 가격대비 성능이 우수한 경제적인 모델입니다. Greenough광학계로 뛰어난 초점심도를 가진 선명한 상을 보실 수 있으며 색 재현성 및 샤프한 이미지 재현성이 우수합니다.
BX51WI는 전기생리학 연구를 위해 태어난 특수 시스템 현미경입니다. BX51WI는 775nm와 990nm의 IR영역에서 수침렌즈를 통해한 이미지 구현이 가능하며, patch clamping 장비를 안정하게 장착 할 수 있습니다. 수침렌즈의 working distance는 patch 장비가 샘플에 접근하기 쉬운 각도와 거리로 제작 되어 있으므로 불편함 없이 실험을 진행할 수 있습니다. 또한 높은 해상력을 제공하므로 깨끗하고 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.
BX61WI는 BX51WI의 특징을 그대로 가져가면서 0.01µm 단위로 조절가능한 Z-축 모터가 내장이 되어 있습니다. 이 Z-축 모터는 컴퓨터나 리모콘을 이용하여 조절 하실 수 있습니다. 또한 BX61WI는 Olympus FV300/1000 confocal systems과 조합이 가능 합니다.
IR-DIC를 이용 brain slice를 관찰 할 수도 있으므로 뛰어난 작업환경을 제공 합니다.
효율성을 최대로 살린 디자인은 특수한 렌즈와 집광기 그리고 탄탄한 광학계를 통해 실현 되었습니다.
고정된 제물대, patch clamp 안정성을 위한 horizontal arm과 nosepiece focus. BX51WI는 Burleigh, Sutter, Narishige, Luigs, Neumann등의 장비와 쉽게 조합이 가능합니다.
수침렌즈는 표면이 resin 코팅을 되어 있으며, 2-3.3mm의 작업 공간과 32-44°의 각도로의 pipette 접근이 쉽습니다.
새로운 NA 0.95 WD 2.0mm의 XLUMPFL20x W/IR 렌즈는 샘플로의 접근 공간을 최대한 살려줍니다. Double Port Magnification Changer와 조합하면 렌즈 변환 없이 다양한 배율을 관찰 할 수 있습니다.
Long Working Distance Condenser : WI용 condenser는 0.8 NA, 샘플과의 거리 6mm의 스펙을 가지고 있습니다. 1position 또는 1/4 λ 회전이 가능한 5 position condenser를 장착할 수 있습니다.
WI 전용 condenser(0.8NA, WD 6mm)에 360°회전이 가능한 slit aperture를 이용하면 저렴한 비용으로 고대비의 이미지를 구현할 수 있습니다.
IR 광로 : IR filter는 연구자의 요구에 맞게 보정되었으며 특수 편광 장치를 사용함으로써 990nm의 파장도 사용이 가능합니다.
Macro fluorescence capability: Super-efficient large field fluorescence for voltage sensitive dye/membrane potential imaging with the low power 4x/NA 0.28 PLFL or 2x/NA 0.14 objectives
Double Port Magnification Changer : Dual port는 두 종류의 파장을 분리하여 얻도록 되어 있습니다. 즉, IR-DIC이미지와 일반형광이미지를 동시에 관찰할 수 있습니다. 장착된 magnification slider를 이용하면 렌즈 교환 없이 낮은 배율과 높은 배율의 이미지를 관찰할 수 있습니다.
Physiology Patch System BX51WI (BX61WI)
BX51WI 많은 다른 형태의 patch clamp 장비를 장착하여 사용하실 수 있습니다. (Burleigh, Narishige, Sutter, Luigs Neumann, Newport, 기타)
Burleigh Gibraltar Platform에 장착되어 있는 Burleigh Gibraltar Patch Clamp Workstation과 PCS 5000 piezo manipulator series를 BX51WI에 장착하면 2 x 2 slice에 접근이 가능한 patch clamp workstation을 만들 수 있습니다.
Olympus Ultrasonic Micromanipulator : 3축 ultrasonic manipulator는 25,000mm의 이동 영역을 가지며 미동 및 조동나사의 정확한 제어가 가능합니다. 전진, 후진 속도를 각각의 축에서 조절 할 수 있습니다 : 0.1mm 정확도로 전체의 영역을 옮겨 다닐 수 있습니다.
고정형 제물대와 초점 조절 nosepiece는 BX51WI에 일체화 되어 있어 patch clamping에 요구되는 안정성을 더해 줍니다.
새로운 Long Working Distance XLUMPFL20x W/IR 렌즈는 NA 0.95 WD 2.0mm으로 최대의 작업 용이성을 제공해 줍니다. Double Port Magnification Changer와 조합하여 렌즈 변환 없이 저배율, 고배율관찰이 가능 해 졌습니다.
개선된 앞쪽 조절 판은 부드러운 조작을 할 수 있도록 제작 되었습니다.
현미경의 앞쪽에 조작 패널있기 때문에 초점 조절과 필터교환을 보다 편하게 할 수 있습니다. 또한 Senarmont DIC 액세서리를 사용하시면 manipulator와 샘플에 손이 닿지 못하기때문에 오염에 따른 실험적 오류를 방지할 수 있습니다.
새로운 Arm Height Raising Kit은 제물대와 렌즈의 공간이 90mm이상이므로 쥐와 같은 동물을 올려놓고 관찰을 할 수 있습니다.
새로운 swing&slide nosepiece는 렌즈변환 도중 공기방울 유입을 막아 주며 swing-only 또는 slide-only nosepiece 또한 사용가능 합니다. 모든 nosepiece 충격과 진동을 최소화 시키도록 하도록 디자인 되어 있습니다.
2x, 4x Macro 형광 렌즈는 낮은 배율의 형광 관찰이 가능합니다. 수침보호 cap을 이용하면 perfusion media에 의한 수차현상을 방지 하실 수 있습니다.
제품 소개 C-elegans, Zebrafish, drosophila, embryo, mouse 등의 형광 실험을 저 배율에서 수행하는 고객에게 최적화 된 장비입니다.
재생산, 개발 용도
gene, protein 등의 기능 분석
MVX10 : 제품명
M : (Macro)
V : (View)
X : (Olympus Optics)
10 : (Zoom ratio)
제품 특징
가장 밝은 Fluorescence Macro Microscope
고품질의 이미지에 중점을 두어 개발된 제품
시료의 물리적 조작이 주업무일 때 = SZX series –Injection 작업을 위한 스테레오 이미지가 중점이 됨
물리적 조작 보다는 이미지 품질 및 시그널 검출이 중요할 때 = MVX10 –형광의 밝기와 해상력이 주요 강점
Spec.: MVX-ZB10
Zoom body
– Type: single zoom”@”iZoom ratio:10) – Zoom magnification: 0.63x – 6.3x –Max. NA(1x Ob): 0.25 (Stereo: 0.125) – AS: Built in – Body mount: Dovetail (same as SZX) – Tube mount: Dovetail same as BX – Objective mount: M65 x 1.5 mm thread – Nosepiece: Screw method (same as SZX) – Body length: 211mm – Zoom click stop: 0.63,0.8,1,1.25,1.6,2,2.5,3.2,4,5,6.3 (possible to release) – Magnification display: zoom magnification (differ from SZX12 and SZX9)
Spec.: MVX-TTRS
uTilting Trinocular head for MVX – Tilting and Trinocular design
» FN: 22 »BI angle: 0- 23 degree » Interpupillary distance: 51 – 76mm » Optical path: 2 position (BI/photo: 100/0 and 0/100) » 3D-effect is available by pupil separation mechanism » Erect Image
– Tube lens » Tube magnification: 1x (tube lens f= 180mm) » Tube mount: Dovetail same as BX » Restriction with regular Trinocular
– TV adaptors » TV adapter: MVX-TV1xC, ,MVX-TV 0.63xC ( exclusive use) » No compatibility with UIS2 adaptors
– Internal magnification changer MVX-CA2X » Detachable into MVX-TTRS
– Eyepiece: Use WHN series » Diopter scale adjustment: none (with the eyepiece)
Spec.: MVX-RFA
Coaxial fluorescence illuminator – Filter change: 4 position turret
3 mirror unit position + Blight field position Mirror units: XL type (See next page) – FS: Built-in, AS: none – Slider : open/2filter position
32ND filters pocket – Lamp house mount: Same as BX system Lamp house : 100W Mercury/75W Xenon – Tube mount: Dovetail same as BX
Excitation
Emission
Comment
U-MGFP/XL
460-490
510-
Exist product for GFP/Long path
U-MGFPA/XL
460-490
510-550
Exist product for GFP/Band path
U-MCFPHQ/XL
425-445
460-510
New product for CFP/Band path
U-MCFPHQ/XL
460-480
495-540
New product for GFP/Band path
U-MYFPHQ/XL
490-500
515-560
New product for YFP/Band path
U-MRFPHQ/XL
535-555
570-625
New product for DsRED/Band path
Spec.: Objective lens
Spec.: Objective lens
MVX exclusive PF (Per-focal) objectives
Per-focal length: 137mm Mount: M65 x 1.5 mm thread End part external diameter: 60mm (Same as SZX)”iwith out MVPLAPO2XC”j The MVPLAPO2XC equips with optical correction mechanism for live cell in the water Two place nosepiece available : MVX-2RE
ZDC-IMAGE : 장시간의 Time Lapse 실험시 초점흐름 없는 일관된 이미지를 얻게하는 시스템입니다.
연구자들의 요청에 부흥코저 저희 Olympus에서는 장시간 동안 실시되는 Time lapse 실험 동안에도 초점의 흐름 없이 최적화된 결과물을 얻을 수 있게 하기 위한 System을 개발해 왔습니다. 현미경의 각 구성품에 대한 철저한 연구와 많은 개선 사항의 보완에 따라 저희는 ZDC-IMAGE를 소개해 드리고저 합니다. 특별한 작업을 위해 특수하게 고안된 이 진보된 System은 사용하시는 분으로 하여금 몇 시간이 넘는 Time Lapse 실험에서도 각 촬영 순간마다 뛰어나고 정확한 이미지를 얻어낼 수 있게끔 합니다.
이 시스템은 Time lapse 실험이 실행되는 동안 각 Image를 얻기 전에 순간적으로 초점을 자동으로 확인합니다. Image상에서 초점을 자동으로 잡는 System들과는 달리 IX81-ZDC는 초점 대상으로서 Glass-Bottom dish를 사용합니다. 이것은 시료의 조건이나 크기에 구애 받지 않는 초점 보상을 가능하게 합니다. 약한 IR laser가 초점 보상을 위해 사용되기에 여기광에 노출된 Cell이 손상되는 위험성이 없습니다.
유리표면을 기반으로 한 ZDC의 초점 흐름 보상 원리
1. 관찰 위치를 “Offset”으로 설정 2. 설정된 Time lapse 시간이 흐른 뒤 관찰 지점으로부터 대물렌즈의 초점위치가 흐트러짐 3. Image acquisition을 수행하기 전에 IR-laser가 유리표면을 탐지 4. 초기의 Offset 위치로 되돌려 줌으로서 초점 흐름 보상이 됨. 0.8초안에 모든 과정이 이루어짐
이 역사적인 현미경 모델은 어떤 위치라도 쉽게 초점을 설정할 수 있습니다. 약한 Laser (785nm) 장치가 Tube 렌즈와 대물렌즈 사이의 추가적인 Optical path로 부착되어 대물렌즈와 반사면 사이의 거리를 측정합니다. 보통 이 거리는 Cover glass와 Cell 사이의 경계의 반사율 차이로 측정됩니다. 그러므로 시료의 불필요한 Photobleaching을 야기하지 않습니다.
고정밀의 Motorized stage Time lapse 실험 동안에도 일관된 초점을 잡아낸다.
이 Motorized stage는 정밀도를 기반으로 사용자가 설정한 위치로 되돌릴 수 있기 때문에 35mm glass bottom dish를 사용하는 Multi-point time-lapse photography를 수행할 수 있습니다. 이는 다양한 Cell을 상대로 하는 작업이나 기대반응을 일으키는 Cell 개체 검출 실험의 효율성을 극대화 시킵니다. Stage는 소프트웨어로 조작되며 부착된 Joystick을 사용하여 부드럽게 이동시킬 수도 있습니다.
Z series를 이용한 Multi-point time-lapse image illustration 5-D(X,Y,Z,T and multi-point) imaging
cell의 높이와 크기에 따라 각 Point별로 Offset위치를 설정할 수 있습니다. 또한 기준이 되는 Offset위치의 위아래로도 여러 장의 Image를 얻어낼 수가 있습니다 : 이러한 경우 동일한 시간 간격마다 각 Point에 대한 동일한 수의 Image를 얻어낼 수 있습니다.
MIU-IBC-IF/I: CO2 incubator
오랜시간 동안에도 cell의 활성을 유지시켜준다.
이 Incubator dish안의 환경은 극도로 정밀하고 안정된 메카니즘을 통하여 37℃의 온도,90%의 습도,5%의 CO2농도(5%의 CO2 bomb사용시)로 유지됩니다. 이를 통하여 Cell의 활성은 2일까지도 유지 될 수 있습니다. *MIU-IBoIF/I은 Motorized stage(H117)와는 연동 되지 않습니다 ; 이 경우 INU-ZIL(CO2 incubator)이 사용됩니다.
열에 의한 변형 방지 구조
열로 기인한 변형에 따른 초점 흐름을 최소화하는 특수 구조로 제작되었기에,Time-Lapse 관찰에 적합합니다.
주입이 가능하다.
상부 발열판의 구멍을 통해 주사기를 이용한 세포 조작 실험이 가능합니다.
깨끗한 투과광 검경
내부에 습기가 차 있더라도 Incubator내부에 응축되지 않습니다. 또한 상부 발열판이 유리로 만들어져 있기에 위상차와 미분간섭 관찰에 아무런 간섭을 주지 않습니다.
DP30BW: 고감도의 Cooled CCD camera
Living cell imaging을 위해 개발된 무진동,고감도의 cooled CCD camera
Peltier 냉각장치를 사용한 DP30BW는 무진동ㆍ무소음의 조작환경을 제공합니다. shutter와 새로운 노이즈 감소기능과 결합되어 미약한 형광 까지 고품질로 잡아낼 수 있습니다.
희미한 형광까지 깨끗하게 관찰할 수 있다.
단색CCD와 고성능의 증폭기가 결합되어 고감도를 실현합니다. Image는 3종류의 감도조절(Normal,NIR-M,NIR-H)을 통해,가시광에서부터 적외선에 이르는 넓은 파장대에 걸쳐 최적화 됩니다(63%~70%사이의 Quantum efficiency조절). NIR-M과 NIR-H설정의 경우 Cy7 형광인자와 같이 관찰하기 어려운 긴 파장의 빛을 관찰할 수 있게 합니다.
새로운 노이즈 제거 기술
DP30BW의 탁월한 노이즈 제거 능력은 진보된 Peltier 냉각기술과 광전자 전송 회로에 의해 얻어집니다. 추가적으로,긴 노출시간 동안 발생하는 노이즈는 Olympus의 독자적인 Background substraction 기능에 의해 제거 됩니다.
냉각팬이 없는 Peltier cooling system은 조작의 안정성을 더해준다.
팬이 없는 냉각장치를 도입한 DP30BW는 Camera의 진동(또는 관련된 노이즈)로 부터 안전한 조작 환경을 제공합니다.
Shutter
Shutter는 time-lapse 실험에서 매우 중요한 역할을 합니다. 이 장치는 투과/반사 조명장치와 현미경본체 사이에 위치하며,시료의 fade-out현상을 최소화 시키는 것도 software를 사용한 조작이 가능합니다. 사용자의 목적에 따라 IX2-SHA 또는 Uniblitz shutter를 사용할 수 있습니다.
Motorized shutter/ IX2-SHA
투과광 또는 여기광의 광로에 설치할 수 있습니다.
UNIBLITZ shutter
투과광 또는 여기광의 광로에 설치할 수 있습니다.
MetaMorpph Imaging System: Image 획득 및 처리 소프트웨어ZDC-Image Control
MetaMorpph Imaging System은 Software와 Hardware를 다재다능하고 강력하게 결합시킴으로써 Digital CCD camera로부터 영상을 얻고 분석하는 일련의 과정을 자동화 시킬 수 있습니다. 이 소프트웨어는 Microscope, Filter wheel, Shutter, Cooled CCD camera, Video camera, Monochromator, Focus motor와 Piezo electric focus device,Motorized stage, Digital & serial input/output,그리고 Robotic device들을 포함한 광범위한 기기들에 대해 최고의 조작성을 제공합니다.
Multi-dimensional image acquisition
이 소프트웨어는 Time-lapse 실험의 Photographing작업에 대해 최고의 편의성을 제공합니다. Time Lapse, multiple stage position 그리고 Z Position들을 Function 메뉴에서 독립적으로 선택할 수 있기에 이를 이용한 어떠한 조합의 Image acquisition도 가능하게 합니다.
Multi-dimensional data review
이 기능은 Data를 하드디스크에 저장하고 모니터상에 표현하는 것에 효율성을 부여합니다. Two-Dimensional data(X, Y), Focus plane data(Z), Wavelength data(λ), Time data(T) 그리고 Stage position data(P)들을 선택에 따라 다양한 조합으로 표현 할 수 있습니다.
Fluoview FV10i는 세계 최초의 올인원 박스 타입 컨포칼 이미징 시스템입니다. 친근하고 효율적인 사용 구조는 연구자의 소중한 시간을 지켜드릴 것 입니다. 디지털 카메라가 ‘포토그래피’의 컨셉을 바꾸어 놓은 것과 같이 올림푸스 FV10i는 ‘컨포칼 레이저 주사 현미경’의 컨셉을 바꾸어 놓을 것 입니다.
별도의 암막 장치가 필요 없습니다 : 박스 타입의 구성은 완벽한 암실 효과를 제공합니다.
스캐닝 장치 : 사용자가 선택한 형광 시약에 따라 모든 설정을 자동으로 맞춰 줍니다.
현미경 기능 : 광학 줌이 더해진 전용 렌즈를 사용하여 100배에서 6000배 까지의 확대가 가능합니다.
항 진동 장치 : 시스템 자체에 진동 및 흔들림을 잡아 주는 기능이 있어 일반 실험대 위에 설치하셔도 됩니다.
