MX63 / MX63L

Streamline Your Large Sample Inspection Workflow

The MX63 and MX63L microscope systems are optimized for high-quality inspections of wafers as large as 300 mm, flat panel displays, circuit boards, and other large samples. Their modular design enables you to choose the components you need to tailor the system to your application.

These ergonomic and user-friendly microscopes help increase throughput while keeping inspectors comfortable while they do their work. Combined with OLYMPUS Stream image analysis software, your entire workflow, from observation to report creation, can be simplified.

Functional

Leading-Edge Analysis Tools

The MX63 series’ versatile observation capabilities provide clear, sharp images so users can reliably detect defects in their samples. New illumination techniques and image acquisition options within OLYMPUS Stream image analysis software give users more choices for evaluating their samples and documenting their findings.

The Invisible Becomes Visible: MIX Observation and acquisition

MIX observation technology produces unique observation images by combining darkfield with another observation method, such as brightfield, fluorescence, or polarization. MIX observation enables users to view defects that are difficult to see with conventional microscopes. The circular LED illuminator used for darkfield observation has a directional darkfield function where only one quadrant is illuminated at a given time. This reduces a sample’s halation and is useful for visualizing a sample’s surface texture.

Structure on semiconductor wafer

Condenser

Easily Create Panoramic Images: Instant MIA

With multiple image alignment (MIA), users can stitch images together quickly and easily simply by moving the KY knobs on the manual stage—a motorized stage is not necessary. OLYMPUS Stream software uses pattern recognition to generate a panoramic image, giving users a wider field of view.

Instant MIA image of a coin

Create all-in-focus images: EFI

The Extended Focus Imaging (EFI) function within OLYMPUS Stream captures images of samples whose height extends beyond the depth of focus of the objective and stacks them together to create one image that is all in focus. EFI can be executed with either a manual or motorized Z-axis and creates a height map for easy structure visualization. It is also possible to construct an EFI image while offline within Stream Desktop.

Stud bump on an IC chip

Capture Both Bright and Dark Areas Using HDR

Using advanced image processing, high dynamic range (HDR) adjusts for differences in brightness within an image to reduce glare. HDR improves the visual quality of digital images thereby helping to generate professional-looking reports.

From Basic Measurement to Advanced Analysis

Measurement is essential to quality and process control and inspection. With this in mind, even the entry-level OLYMPUS Stream software package includes a full menu of interactive measurement functions, with all measurement results saved with image files for further documentation. In addition, the OLYMPUS Stream Materials Solution offers an intuitive, workflow-oriented interface for complex image analysis. At the click of a button, image analysis tasks can be executed quickly and precisely. With a significant reduction in processing time for repeated tasks, operators can concentrate on the inspection at hand.

Efficient Report Creation

Creating a report can often take longer than capturing the image and taking the measurements. OLYMPUS Stream software provides intuitive report creation to repeatedly produce smart and sophisticated reports based on pre-defined templates. Editing is simple and reports can be exported to Microsoft Word or PowerPoint software. In addition, OLYMPUS Stream software’s reporting function enables digital zooming and magnification on acquired images. Report files are a reasonable size for easier data exchange by email.

Stand-Alone Camera Option

Using a DP22 or DP27 microscope camera, the MX63 series becomes an advanced stand-alone system. The cameras can be controlled via a compact box that requires only minimal space, helping users maximize their laboratory space while still capturing clear images and making basic measurements.

Advanced Designed to Support Cleanroom Conformity

The MX63 series is designed to work in a cleanroom and has features that help minimize the risk of contaminating or damaging samples. The system has an ergonomic design that helps keep users comfortable, even during prolonged use. The MX63 series complies with international specifications and standards, including SEMI S2/S8, CE, and UL.

Optional Wafer Loader Integration ― AL120 System*

An optional wafer loader can be attached to MX63 series to safely transfer both silicon and compound semiconductor wafers from a cassette to the microscope stage without using tweezers or wands. Renowned performance and reliability enable safe, efficient front and back macro inspections while the loader helps improve productivity in the laboratory.

Fast, Clean Inspections

The MX63 series delivers contamination-free wafer inspections. All motorized components are housed in a shielded structure, and antistatic processing is applied to the microscope frame, tubes, breath shield, and other parts. The rotation speed of the motorized nosepieces is faster and safer than manual nosepieces, decreasing the time between inspections while keeping the operator’s hands below the wafer, reducing potential contamination.

System Design Achieving Efficient Observations

The XY stage is capable of both coarse and fine stage movements thanks to the combination of a built-in clutch and the XY knobs. The stage helps make observations efficient, even for large samples, such as 300 mm wafers.
The tilting observation tube’s extensive range enables operators to sit at the microscope in a comfortable posture.

System Design Achieving Efficient Observations

The XY stage is capable of both coarse and fine stage movements thanks to the combination of a built-in clutch and the XY knobs. The stage helps make observations efficient, even for large samples, such as 300 mm wafers.
The tilting observation tube’s extensive range enables operators to sit at the microscope in a comfortable posture.

Accepts All Wafer Sizes

The system works with various types of 150–200 mm and 200–300 mm wafer holders and glass plates. Should the size of the wafters change on the production line, the microscope’s frame can be modified at minimal cost. With the MX63 series, different stages can be used to accommodate 75 mm, 100 mm, 125 mm, and 150 mm wafers on the inspection line.

열화상 카메라

열화상측정기기

Real Time PC Thermography FSV-7000E

◈ 주요 특징

세계 최고 수준의 고화질 열화상 구현

▶고순도 게르마늄렌즈 사용
▶비냉각 마이크로 보로메타 사용
▶열화상 전용엔진 Zivs 탑재

고순도 게르마늄 렌즈를 통해 들어온 적외선은 비 냉각 마이크로 보로메타에서 충실히 검출하여 열화상 엔진 Zivs에 의해 최고 수준의 열화상으로 변환 된다.

실시간 고속촬영

▶60 Shot/sec의 경이로운 고속 촬영을 실현
▶IEEE1394 통신을 이용하여 안정된 열화상을 고속으로 PC에 전송
▶Multi-Thread 알고리즘을 사용하여 열화상 녹화 중에 분석 및 관찰

Real Time 관찰

▶EPTC기능으로 화소 별 온도보정 수행
※ EPTC=Every Pixel Temperature Correction
▶광통신 케이블을 이용한 원거리 화상 분석 가능(최대 1,000m)

Excel direct link기능

▶3D표시 기능
▶Pick온도 좌표 추출 기능
▶Spot, Line, Area의 온도 변화를 그래프로 표시
▶온도분포를 라인으로 지정. 데이터의 분석 및 가공이 가능
▶AVI변환 기능

다양한 광학 Option

근접에서 망원 또는 광각 등 모든 열화상 촬영 영역을 커버하는 전용렌즈 장착 가능 또한 필터 장착으로 최대 2000℃까지 측정 가능

전용 접안렌즈를 사용하여 공간 분해능 100um실현

열화상 현미경

열화상측정기기

FSV-GX Series

현미경 개요

열 화상현미경 FSV-GX Series는 Sample에 온도를 가해 변화되는 모습을 동영상 촬영 및 그에 따른 온도 분석을 그래프화, Data화 시켜 Sample를 분석하는 장비.

FSV-GX Series에는 현미경의 Zoom기능이 탑재된 FSV-GX7000과 고정 배율로 관찰하는 FSV-GX7700모델 있다.

FSV-GX7000은 고 배율 적외선 렌즈를 사용하면서 고정 초점 렌즈가 아닌 사용자의 편이를 고려한 광학 3배의 Zoom Lens(Germanium 탑재)를 세계최초 개발. 경통 내의 Lens를 이동시키는 구조로 시료의 Work Distance 변함이 없으며, 16배~80배까지의 넓은 관찰 범위를 자랑한다.

FSV-GX7700은 동종업계 중 최고배율 120X를 자랑. 다양한 측정이 가능한 현미경으로서 세계최초로 적외선광학 전용렌즈를 개발, 최소 파장범위인 8㎛²를 실현 가능케 했다.

FSV-GX series의 주요 특징

비냉각 방식

기존 온도측정장치는 전원을 ON 시킨후 안정된 온도까지의 대기시간 및 냉각장치의 정기적인 관리가 필요하였으나 FSV-GX series는 전원을 ON 시킨후 바로 온도측정이 가능하며, 또한 정기적인 관리 역시 불필요하다.

밝기 = 1.6

기존 온도측정장치는 전원을 ON 시킨후 안정된 온도까지의 대기시간 및 냉각장치의 정기적인 관리가 필요하였으나 FSV-GX series는 전원을 ON 시킨후 바로 온도측정이 가능하며, 또한 정기적인 관리 역시 불필요하다.

WD 52m,

기존 온도측정장치는 전원을 ON 시킨후 안정된 온도까지의 대기시간 및 냉각장치의 정기적인 관리가 필요하였으나 FSV-GX series는 전원을 ON 시킨후 바로 온도측정이 가능하며, 또한 정기적인 관리 역시 불필요하다.

높은 신뢰성 · 고속Data전송 · 충실한 영상 프로그램

FSV-GX 프로그램은 1초간 60프레임을 기본으로 최고 99,999 프레임의 연속 촬영과 미세한 대상물의 온도변화를 실시간으로 얻을 수 있는 고속열화상 촬영프로그램이다.
또한, SFV-GX는 측정 대상물의 실시간 온도를 빠짐없이 충실하게 재현하는 알고리즘을 개발하여 모든 Pixel의 온도 보정을 실현하였으며, 1 Pixel마다 적외선 에너지와 Data로부터 연산 보정시켜 표시하기에 온도 스케일의 상·하뿐 아닌 중간의 온도까지 정확하게 표시가 가능하다. 이러한 특징 때문에 한눈에 온도를 파악할 수 있어 보다 빠른 계측이 가능하다.

Report 출력기능

Data의 리포트기능은 물론 각종 온도 변화과정의 동영상 촬영 기능 역시 다양하기에 사용자에 맞춰 사용하기가 용이하다.

IEEE1394전용 Interface

PC환경에 따른 전용Interface

동일 배율에서의 동일 대상물의 비교

시간별 온도변화

Line 온도 변화

STM6/STM6-LM

공구 · 측정 현미경

금속 가공·정밀 부품에서 반도체·자기 헤드 등의 다양한 측정에 사용 가능합니다.

STM6-LM/STM6

신뢰성 있는 Line-UP. 다양한 ACC’S로 모든 측정
요구에 대응가능

최첨단 System 성능을 갖춘 MEASURE SHOP. 신기술을 적용한 고정밀도 현미경으로서 고정밀도, 내구성은 기본이며 성능,측정요구까지도 다종다양하게 대응할 수 있는 제품력을 갖추었습니다. 대형시료에서의 빠른 검사를 실현한 STM6-LM. Class 최소의 Body로 고정밀도의 능력을 발휘하는 STM6. 풍부한 ACC’S를 통해 유저에게 최적 시스템을 제공 할 수 있습니다. 전동 Focus의 세계 최초 도입, 이상적인 UIS2 광학계, Counter 일체의 고강도 Body의 채택 등 실제적인 다양함으로 모든 측정요구에 충족하는 MEASURE SHOP. 첨단의 기능과 장비를 탑재한 측정현미경의 등장입니다.

Special Features : Reliability

높은 정밀도와 내구성을 실현할 수 있는 우수한 기술력과 엄격한 Traceability
■ 빈틈 없는 설계력,고도의 기술력이 품질향상과 Process개선에 공헌

ㆍ경년변화에 강한 고강성 Body & Stage
오랜 기간동안 이루어진 측정현미경에의 대한 전념과 고객과의 대화를 통해 배양된 Know-how, 기술력의 모든 것을 투입한 MEASURE SHOP. 정밀도, 강성을 기본으로 측정기로서 가장 중요한 정밀도를 오랜기간 유지하기위해 경년변화에 강한 고강선 Body와 Stage를 개발하였습니다. Guide-way에는 우수한 진직도(Straitness)를 얻을 수 있는 Linear guide방식을 채용했고 독자적인 Scale을 내장하여 높은 신뢰성에 중점을 두었습니다.

ㆍLinear Scale이 Sub-micron을 실현합니다.
Scale의 정밀도는 측정현미경의 정밀도를 좌우하는 중요 포인트로 OLYMPUS에서는 독자적으로 개발한 고정도 광학식 LinearScale에서 얻어진 광정보를 전기적으로 처리하여 측정합니다. Scale 내장위치도 Abbe의 정리(측정해야 하는 길이와 Scale이 그 측정방향에 일직선으로 배열된 위치가 가장 오차가 없다)에 근거하여 오차를 최소로 하였습니다.

■ 국제규격의 Traceability체계가 고품질을 보증 또한 치밀한 After Service로 제공

ㆍ고품질을 보증하는 엄격한 제조공정.
고정밀도 추구를 위하여 제조에서 조립에 이르기까지 일본 내 제1급환경level에서 정비. 최상급의 항온공장에서 엄선한 소재를 가공하고 숙련자의 손을 통해 한대 한대 소중한 제품으로서 마무리를 합니다.
또 OLYMPUS의 측정현미경은 부품 하나에서 완성품에 이르기까지 엄격한 Traceability를 기본으로 관리되어지고 있습니다.

Special Features : LED 조명

▶ 반사, 투과 조명용의 밝고 깨끗한 LED조명장치 [MM6-IL]시리즈

ㆍ보다 밝고 깨끗한 상으로 관찰효율이 UP
투과, 반사용 LED조명 유닛은 할로겐의 황색보다 자연광에 가까운 백색 LED를 채용했습니다. 관찰상이 밝고 깨끗하여, 시료의 색을 충실히 재현하며, 밝기를 바꿔도 색이 변하지 않고 LED조명은 형광등처럼 변동이 없기 때문에 장시간 작업으로 인한 눈의 피로를 경감시켜줍니다.

ㆍ긴 수명, 낮은 소비전력으로 소비량을 삭감

ㆍ정숙, 저 발열에 의한 측정신뢰성의 향상

ㆍ보다 작은 스페이스의 실현

ㆍMM6-IL dimensions

언제라도 최상의 상태를 유지하도록 정기정검제도 service를 실시

OLYMPUS는 계약에 맞추어 일정기간 내의 정기점검을 실시합니다. 연1회 정기점검과 연2회 정기점검이 가능하고 계약기간 및 점검회수는 상담에 따름니다. 또 고객의 상황에 맞추어 수시점검도 시행하고 있습니다.

＜점검범위＞
점검보고서에 따라서 기능점검과 정밀도 점검을 실시하여 장치의 상태를 평가하는 것을 기본으로 하고 있습니다. 부품교환이 불필요한 수리에 대하여는 그 장소에서 바로 점검이 가능합니다. 또 점검의 결과 별도 수리가 필요한 경우에는 상담을 바랍니다.

＜점검내용＞
● 정밀도 점검, 교정의 실시 ● 기능 Check ● 윤활유 교환, 가벼운 수리 및 간단한 조정 ● 광학계의 점검과 청소 ● 외관청소 ● 점검보고서, 검사성적표의 발행

상기의 연락은 T.02-3473-4188으로 ㈜택산상역 고객만족팀 담당자(팀장 진재환)에게 문의바랍니다.

Special Features : Easy Operation

사람에게 편안함을 주제로 간편한 사용기능과 확장성을 철저 추구
■ 장시간의 측정에서도 피곤하지 않도록 사용자를 위한 이상적 설계

ㆍZ축 측정을 빠르게 행할 수 있는 전동 Focus
(STM6-LM,STM6 전동type)핀트 조정과 높이 및 깊이의 측정시 조작성을 대폭 향상시킨 전동Focus를 Olympus가 처음으로 채택. 조동과 4단계의 미동(800,400,200,50㎛)변환을 간단하게 Z축 조작 Box에서 조작 가능하게 하여 작업시의 피로가 대폭 경감됩니다.

ㆍ보기쉬운 이상적인 위치에 부착된 Counter
현미경 본체와 일체화된 표시부가 관찰위치와 거의 동일선상에 위치하여 작은 시선의 이동만으로 측정치의 확인을 할 수 있어 관찰,위치 맞춤에만 전념 할 수 있습니다.

ㆍEdge 관찰, 외관 Check에 뛰어난 UIS광학계를 채용
UIS광학계가 실현하는 우수한 고해상력과 Contrast에 의한 Edge의 상을 통해 측정, 외관검사의 비약적인 향상을 도모합니다.

ㆍ인간의 눈의 분해능을 고려한 Raticle에서 간단한 위치 맞춤.
측정현미경에서는 측정물과 Raticle을 정확히 맞추는 것이 중요합니다. 직선을 맞추는 것은 하나의 선으로 행하는 것보다 Raticle및 파선이 있는 쪽을 정확이 행하는 것이 더 정확한 Data를 얻을 수 있습니다. 이러한 인간의 눈의 특성과 분해능을 분석하고 초점판에 Raticle과 파선을 넣어서 맞춤 정밀도를 향상시킵니다.

Special Features

STM6-LM

■ 전동 Focus를 기본장착하고, 대형시료를 고정밀도로 빠르게 측정

ㆍ전동 Focus 채용에 의하여 Z축 측정시의 피로를 대폭 경감

전동 Focus를 기본장착하였고 손쉬은 조작Box로 핀트조정을 행하기 때문에 지금까지의 무리한 자세에서의 Z축Handle 조작은 필요없습니다.

ㆍ효율적인 공간 활용, 일체형Body(전계장비)。
본체에 전기장치 System을 내장한 Counter일체형 Body에 Data통신 Interface부분에 RS232C를 내장하여 컴퓨터와의 자료 전송과 Printer 등의 외부기기와의 접속이 더욱 용이하게 되었습니다. 더욱이 컴퓨터에 부착된 Data는 MicroSoft Excel등으로 Database화가 가능합니다.

ㆍ광범위를 일시에 빠르게 검사할수 있는 클러치 타입의 대형스테이지

250㎜×150㎜ 의 큰 측정범위를 갖는 Stage를 탑재. X.Y 구동 각각에 Clutch free기구를 장비, 레버 하나로 조동미동을 빠르게 변환이 가능합니다. X line위와 Y line위, XY 평면상의 자유자재로운 Stage운송이 가능하게 되어 대형시료에서의 빠른 검사를 실현하였습니다. 또 Stage위에 동시에 다수의 시료를 놓고 측정하는 것도 가능합니다.

STM6

■ Foot Pinter에 우수한 소형화, 고기능화적인 설계.선택가능한 Body, Stage등 다양한 조합을 실현

ㆍ설치장소에 관계없는 적은 공간을 차지하는 Body
(W)295㎜×(D)429.4㎜의 Compact한 Body에 다채로운 기능을 집약함으로 이 class에서 최소설계를 실현하였습니다.

ㆍ용도에 맞춘 4 Type, 충실한 Line-Up
0.1㎛ 검출의 전동 3축 type, 매뉴얼3축type에는 0.1㎛ 검출과 0.5㎛ 검출용을 준비. 또한 매뉴얼 2축 type의 0.5㎛의 검출용이 있습니다.

Special Features : Auto Focus

미세한 영역과 단차가 있는 시료를 고정밀도로 빠른 시간에 Focusing
■ 개인차에 의한 오차를 없앤 고정밀도 측정과 빠른 검사를 실현

ㆍ간단히 Add-on 가능한 Auto Focusing Unit
STM6 series에서는 one-shot와 trace기능을 추가하여 Assist의 3Mode를 탑재. 섬세한 조작이 요구되어지는 목시에 의한 높이 깊이의 측정을 모드의 구분 사용에 의하여 자동화가 가능합니다. 개인차에 의한 오차의 발생이 없는 동시에 X,Y Handle에서 손을 이동하지 않고 관찰할 수 있는 등 Z축측정의 효율을 대폭 향상시켰습니다. 그리고 중간경통 type이므로 용이하게 Add-on이 가능합니다. [원리도]

1.one shot
거친 핀트 상태에서 Auto-Focus 실행으로 시야중심에 신속하게 핀트를 맞춘다.

2.Trace
초점이 맞는 위치를 추적하면서 항상 핀트가 일치한 상태를 유지한다. X,Y축 측정시의 핀트 맞춤이 불필요하기 때문에 작업효율이 한단계 향상됩니다.

3.Assist
측정하는 시료면이 Trace범위를 벗어난 경우, Auto Focus가 대기 상태가 됩니다. 전동 focus에서 대물렌즈를 상하로 움직여 다시 Trace범위에 넣은 시점에서 Auto focus가 작동하고 초점위치가 정지합니다.

ㆍ고배율 대물렌즈에서 1㎛의 높은 재현성
반사 Active?공초점 방식을 채택함으로 시료의 경사?표면의 거친 정도에 대하여도 안정된 초점을 실현. LMPlan100× 대물렌즈에서 1㎛의 재현성을 가능하게 하였습니다.

ㆍ미소영역에서도 Auto-Focus가 가능
Laser의 Spot지름이 50x,100x 대물렌즈 사용시 φ1㎛를 실현. 미소영역의 Z축 측정이 가능하게 되었습니다. Bonding Wire등에서도 대응 가능합니다.

Options

■ 효율적인 측정을 위해 필요한 기능을 선택, 추가할 수 있는 다양한 ACC’S를 준비

ㆍ고배율에서의 검사와 미분간섭관찰하에서의 측정
다양한 측정영역에 대응하기 위하여 반사조명 장비를 STM6-LM, STM6에 각각 3종류씩 준비하였습니다. 측정대물렌즈와 Revolver을 이용하여 금속대물렌즈에 대응하고 명시야,암시야, 미분간섭관찰까지 가능. 용도에 따른 장비 추가로 System Up-grade가 가능합니다.

ㆍ측정효율을 비약적으로 높인 Add-on 가능한 장비 준비
높이,깊이 측정을 자동화 하는 Auto-Focusing Unit과 시료의 Edge를 자동검출하는 투과Edge Sensor Unit을 준비. 측정시간 단축 및 피로를 경감할 수 있고, 측정효율을 대폭 향상하였습니다.

ㆍ투과Edge Sensor
시료의 Edge를 자동검출하는 Edge Sensor Unit을 용이하게 추가할 수 있습니다.시료의 Edge를 Sensor부에 통과시키는 것만으로 Edge를 검출할 수 있어 개인차에 의한 오차를 해소함으로, 목시 측정에 비교하여 재현성이 향상됩니다. 정확하고 안정된 Data를 얻을 수 있고 측정시간도 대폭 단축이 가능합니다.

ㆍMM6-RHS250,MM6C-RHS100/ RESET SWITCH

XY counter값의 Reset을 적은 동작으로 할 수 있습니다.

ㆍMM6-RK01/Remote cube Unit

XYZ counter Reset, Data 출력과 1/2 counter의 변환을 적은 동작으로 할 수 있습니다.

ㆍMMFS01/Foot Switch

Printer, 2차원 data처리장치등에서의 Data 전송을 Hand-free로 할 수 있습니다.

ㆍMM6-EMO/정립단안 경통

정립상의 단안경통입니다. Cross line이 있는 접안렌즈 MM6-OCC10×과의 조합으로 사용하는 것이 가능합니다.

ㆍSZ-FLR/형광등 조명 장치

Ring 형광조명등에 의해 그림자와 번짐이 없는 조명이 가능합니다.(별도 Adapter가 필요합니다)

ㆍLG-R66/Ring Light Guide

관찰에 불필요한 표본의 그림자를 차단하여,밝고 깨끗한 관찰상을 얻을 수 있습니다.(별도 Adapter가 필요합니다.)

MM6-FN

제품의 특징

• FN지표에 따라 간단하게 초점을 맞출 수 있으며 개인차에 따른 측정오차를 최소화하고, 단차 측정시간을 단축
• 소형타입의 유닛으로서 STM6 및 STM6-LM 탑재가능
• 측정 배율은 10X~50X까지 사용가능
• 명시야 및 암시야 관찰법에 대응가능

BX51/BX61

정립 · 산업 현미경

가시광선 영역에서 반사투과의 폭넓은 대응에 관찰

BX51/BX51M

Arm일체형 투광관의 채택으로 시스템구축 및 장치조합의 자유도가 더욱더 향상되었습니다.
반사투과조명에 대응한 BX51-type. 반사조명전용에 대응한 BX51M-type을 준비하였습니다.
또 BX-URA2(Universal반사투광관)과의 조합에 의한 형광관찰도 가능합니다.

IR관찰에 대응

BX51/BX51M-IR

현미경 본체와 반사투광관은 그대로 근적외선 대응의 Unit을 조합하는 것 만으로, 반사투과의 근자외선관찰이 가능합니다.
실리콘 웨이퍼 내부와 패키지 후면내부, CSP bump등의 관찰을 가능하게 하는 근적외선현미경으로서 사용이 가능합니다.
BXFM system과 조합하는 것이 가능합니다.
근적외선관찰에 대응

• 가시영역에서 근적외 영역까지의 수차보정된 5X ～ 100X의 IR대물렌즈를 갖추고 있습니다.
• 근적외관찰을 용이하게 하는 직통을 장치에 통합시겼습니다.
• 반사투과본체와의 조합으로 투과광 근적외선 관찰에도 대응가능합니다.

Motorized 대응

BX61

Focusing, 조광, 반사투과변환 등이 전동화된 BX61을 준비하였습니다.
Control Software로 일련의 현미경 조작을 Macro화하고, Key-pad나 Computer및 팜톱 단말기에서 제어가능합니다.

• 관찰법 및 대물렌즈의 배율과 연동한 조광과 각종 광학소자의 삽탈 등, 관찰에 동반되는 광학조정을 세밀 하게 설정하는 것이 가능합니다. 번잡한 일련의 조작을 Macro화하여, 현미경 본체에 장비된 버튼(focus, 조광 등 모두 9개소)과 핸드스위치, computer의 key-pad등에 할당하고 보턴 하나로 관찰조건을 재현할 수 있습니다.
• 고속, 고내구성 전동 Revoler, Motorized coaxial Revolver,전동 명시야 투광관, 전동 Universal 투광관,반사 Auto Focus Unit, Filter wheel등의 각종 전동 Module을 준비하였습니다.이러한 전동 Module은 바로 옆의 핸드스위치와 Computer에서 제어가능합니다.
• 모든 대물렌즈에서 완전한 동심을 얻을수 있는 (Motorized coaxial Quintple Revolver) U-P5REMC를 준비하였습니다.

BX41

정립 · 산업 현미경

Power of BX Series

System구축 및 장치조합의 자유도를
향상시킨 Arm일체형 반사투광관
철저한 인체공학의 추구에서 만들어진 Y형디자인에서 더 나아가 Arm 일체형 반사투광관이라고하는 새로운 개념으로, 지금까지 없던 System의 자유도와 장치간의 조합을 용이하게 실현시켰습니다. UIS2 무한보정광학계의 최고급상이 공업분야의 다양한 검사 요구에 고해상으로 대응합니다.

• 가시영역에서 근적외영역까지의 폭넓은 관찰 가능
• ESD대응
• 전동대응
• 장치조합가능

세계 최고 레벨의 상을 더욱 더 발전시킨 UIS 광학 시스템

• 명시야에서 형광까지의 모든 관찰법에 대응하는 Universal 대물렌즈
  명시야, 암시야 , 미분간섭, 간이편광, 형광관찰에 적용할 수 있는 Universal 대물렌즈 MPLN/MPLNFL-BDP를 준비하였습니다. 모든 관찰법에 있어서 최상의 상을 구현하였습니다.
• Sample을 최고의 상으로 보여주는 미분간섭 System.
  전자장비 검사에 빠질 수 없는 미분간섭 관찰. Sample의 상태에 맞추어 언제라도 최적의 해상도와 Contrast를 얻을수 있도록 되어있습니다. 모든 것에 사용 할 수 있는 U-DICR, 고해상도를 추구하는 U-DICRH, High Contrast를 추구한 U-DICRH 등 3종류의 DIC 프리즘이 준비되어 있고, 모두 Slider방식의 Single prism이므로 연속한 배율에서의 관찰시, 관찰이 용이하고 다른 관찰방법으로 변환이 부드럽습니다.

• 고배율대응 AS에 의해 저배에서 고배까지 연속적으로 조리개 사용 가능
  높은 AS 조리개의 성능을 갖는 명시야 반사 투광관 BX-RLA2를 사용하면, 초고배율관찰에서 불가결하던 종래의 Pin Hole 삽입조작이 없이도 연속적으로 조리개 조정이 가능하여, 초점심도가 깊은 High Contrast 의 관찰상을 얻을 수 있습니다. 또 초고배율에서 작동 거리가 긴 Apocromat 대물렌즈 150x를 준비하여 렌즈 선단이 Sample과 접촉하는 염려를 줄였습니다.

• 이전보다 2배의 밝기를 실현한 암시야 관찰
  명시야 관찰시에 사용하던 DND filter를 폐지하고 더욱더 집광성능을 향상시킴으로, 명시야와의 밝기 밸런스를 유지한 채로 이전보다 약 2배 밝은 암시야 관찰상을 얻을 수 있습니다. 높은 암시야 효과에 의하여 놓치기 쉬운 흠과 먼지도 선명하게 파악할 수 있습니다.

• 초미세검사에 최적인 Plan Apocormat 대물렌즈
  색수차를 철저히 제거한 고해상 대물렌즈 MplanApo/MplanApo-BD를 준비하였습니다. 색의 배어남이 없고 High Contrast인 관찰법을 통해 미세한 선폭도 선명하게 관찰이 가능합니다.

• Glass 너머의 관찰을 가능하게 하는 Glass 보정 대물렌즈
  LCD기판등 Glass를 통하여 관찰이 가능한 대물 렌즈로 LCPLFLN-LCD20×,50×은 0.7/1.2㎜ 두께의 Glass 보정 Cap방식, LCPLFLN-LCD100×는 0.5/0.7㎜두께의 Glass 보정 Cap 방식입니다.

• 요철이 큰 Sample관찰에 최적인 Super Working distance렌즈
  20 ×에서25㎜ 、50 ×에서18㎜의 큰 작동거리를 구현한 초장(超長) 작동거리 대물렌즈 SLMPLN을 준비하였습니다. JIG상에 설치된 자기헤드의 관찰 등에 위력을 발휘합니다.
• 모든 Application에 충실한 대물렌즈

인체공학적 디자인을 더욱 진화시킨 Y-Type 의 세련된 디자인

• 더욱더 compact한 Y-type의 세련된 디자인
  현미경 본체의 좌우에 넓은 작업 Space를 확보, 안쪽길이를 더욱 짧게한 Y-type의 세련된 디자인. Lamp house의 형상도 안쪽길이를 억눌러, 좁은장소에서의 설치를 더욱더 용이하게 되었습니다. 주변기기를 현미경의 옆에 놓고 편하게 작업을 할 수 있습니다.
• 조작부의 이상적인 배치가 장시간 작업에서의 피로를 경감.
  피로가 없는 이상적인 외형으로서, 압도적인 지지를 얻고 있는 Y-type의 세련된 디자인이 더욱더 조작성을 향상. 손목을 책상에 놓은채로 조작을 편하게 행할 수 있다. 현미경 조작에 큰 손의 움직임을 필요로 하지 않는다.

• 핀트 조정을 편하게 행하고, 좌우 추가부착 가능한 미동핸들
  Focusing의 미동핸들을 떼어내어 움직임이 편한 좌우 어느쪽에서도 부착하는 것이 가능합니다. 미동 핸들은 고무로 된 코팅이 되어 있어 손의 끝으로 가볍게 잡아도 미동감도가 높아 고배의 핀트 조정에 있으서도 부드럽게 행할 수 있습니다.
• 명기야, 암시야의 변환시에 ND filter가 연동
  명시야 반사 투광관은 관찰의 변환시에 ND filter가 연동하여 밝기의 급격한 변화에서 관찰자의 눈을 보호합니다. 이 연동기구는 필요시 제거 하는 것도 가능합니다.

• 관찰자세를 편안하게 유지시켜주는 경통 Tilting Line-UP
  쌍안은 U-TBI 삼안에는 U-SWETTR/MX-SWETTR의 각종 Tilting경통을 준비하였습니다. 목을 무리하게 숙이지 않아도 관찰자의 Eye-Point를 얻을수 있기 때문에 장시간 관찰에서의 부담을 대폭 경감시킬 수 있습니다.
• 연동하는 Polarizer, Analyzer Slider의 삽탈이 One-Touch
  미분간섭에서 명시야 등의 관찰방법의 변환에서 Polarizer/Analyzer Slider를 한번에 삽탈할 수 있어 빠른 관찰변환이 가능하게 되었습니다. 또 Polarizer/Analyzersms 반사투광관의 좌우 어느쪽에서도 Slide in-out 할 수 있게 되어 있습니다.

기능성을 향상시킨 다채로운 ACCESSORIES로 각종 검사 요구에 적합하게 대응

• 공업용현미경 전용 Stage와 각종 Plate
  공업용현미경 전용의 대형 스테이지 U-SIC4R2/U-SIC4L2를 준비하였습니다. 100×100㎜의 Stage-plate U-MSSP4와 4인치/3인치 웨이퍼 홀더 BH2_WHR43을 장착할수 있는 plate U-WHP2, MaskHolder로서도 사용할 수 있는 투과관찰용의 Glass Plate U-MSSPG등이 준비되어 있습니다.
• Guide돌출함이 없는 rack-less Stage
  X축 이동시 예리한 rack기어가 돌출되지 않는, 독자의 Rack-less Stage U-SVRM/U-SVLM을 이용합니다. Stage주위가 항상 여유공간이 확보되어 있어 현미경 조작에 대한 방해가 없습니다. Stage에는 76×50㎜의 Stage plate U-MSSP가 준비되어 있습니다.

• 표준사양으로 최대시료높이 65㎜까지 관찰 가능하며 65㎜를 넘는 Sample도 관찰 가능
  반사전용 Type의 BX41M/BX51M은 기본적으로 Sample 두께 65㎜까지 관찰 할 수 있고, Arm일체형 반사투광관 채택으로 Spacer등을 사용하면 간단하게 증축을 행하여 65㎜가 넘는 두께의 Sample관찰이 가능하게 됩니다.

• Direct로 배율변환이 가능한 전동 Revolver
  간단한 핸드스위치 조작으로 직접 원하는 대물렌즈로의 변환이 가능한 전동Revolver U-D6REM과 U-D5BDREM로 관찰효율을 향상시킬 수 있고, Sample에 먼지가 낙하하는 것을 억제할 수 있습니다. 모든 반사 투광관에 부착이 가능합니다.

• 대물렌즈간에 완전히 같은 중심축을 유지할 수 있는 Revolver
  3개의 대물렌즈간에 완전한 동심이 얻어질수 있도록 2개소에 Coaxial 기능을 추가한 Coaxial quintuple BD revolver U-P5BDRE와 Sextuple revolver U-P6RE를 준비하였습니다. 저배율에서 고배율까지 대물렌즈를 변환하여도 상의 중심이 벗어나지 않기 때문에 효율성 있는 검사가 가능합니다.
• 자외선 차단 등 각종 Filter를 준비
  자외선 차단, 색온도 변화, Contrast강조, Yellow등의 각종 Filter-slider를 준비하였습니다.

다양한 조명기기에 대처하기 위하여

• 모든 반사투광관에 적합한 Fiber조명
  Fiber Type 냉광조명을 모든 반사투광관에서 사용할 수 있고 광원에는 12V100W Halogen의 LG-PS2가 있습니다. BX-KMAS용에는 U-LGAD Adapter를 사용하여 주십시오.
• 다양한 광원에 적합한 조명 System
  수은과 크세논광원에는 가시광에서 근적외광까지의 색수차를 보정한 APO type을 사용하며, 밝고 긴수명, 경제적인 50W의 Metal Halide type도 있습니다. 용도에 맞게 선택하여 주십시오.

간단한 계측을 하기 위하여

• 치수를 바로 읽을 수 있는 접안이동 측미계
  쌍안부에 부착하여 간단하게 치수측정이 가능한 소형,경량의 접안이동측미계 U-OSM. Micrometer에서 Scale을 이동시켜, 측정길이를 대물렌즈의 배율로 나누는 것만으로 정밀한 실치수 측정이 가능합니다.

가시광선 영역에서 반사투과의 폭넓은 관찰에 대응

BX51/BX51M

Arm일체형 투광관의 채택으로 시스템구축 및 장치조합의 자유도가 더욱더 향상되었습니다.
반사투과조명에 대응한 BX51-type. 반사조명전용에 대응한 BX51M-type을 준비하였습니다.
또 BX-URA2(Universal반사투광관)과의 조합에 의한 형광관찰도 가능합니다.

IR 관찰에 대응

BX51/BX51M-IR

현미경 본체와 반사투광관은 그대로 근적외선 대응의 Unit을 조합하는 것 만으로, 반사투과의 근자외선관찰이 가능합니다.
실리콘 웨이퍼 내부와 패키지 후면내부, CSP bump등의 관찰을 가능하게 하는 근적외선현미경으로서 사용이 가능합니다.
BXFM system과 조합하는 것이 가능합니다.
근적외선관찰에 대응

• 가시영역에서 근적외 영역까지의 수차보정된 5X ～ 100X의 IR대물렌즈를 갖추고 있습니다.
• 근적외관찰을 용이하게 하는 직통을 장치에 통합시켰습니다.
• 반사투과본체와의 조합으로 투과광 근적외선 관찰에도 대응가능합니다.

ESD 대응

BX41M-ESD

우수한 기본성능을 바탕으로 현미경본체, 반사투광관, Revolving nosepiece의 조작부, 표면 등을 ESD대응으로 만들었습니다.
작업자 및 대기중에 포함된 정전기를 빠르게 방전하고, 정전기로부터 장비를 보호합니다.
작업공간을 배려한 Y-type의 세련된 디자인과 Compact한 Lamp House에 의한 Small space를 구현하였습니다.
또한 신개발품인 LED 광원의 채택으로 100W Halogen에 필적하는 밝기에 긴 수명을 실현하였습니다.

• ESD 성능 : 표면저항108Ω이하, 제전(除電)시간0.2sec이하
• 반사명시야, 간이편광, 미분간섭관찰이 가능합니다.

Motorized 대응

BX61

Focusing, 조광, 반사투과변환 등이 전동화된 BX61을 준비하였습니다.
Control Software로 일련의 현미경 조작을 Macro화하고, Key-pad나 Computer및 팜톱 단말기에서 제어가능합니다.

• 관찰법 및 대물렌즈의 배율과 연동한 조광과 각종 광학소자의 삽탈 등, 관찰에 동반되는 광학조정을 세밀 하게 설정하는 것이 가능합니다. 번잡한 일련의 조작을 Macro화하여, 현미경 본체에 장비된 버튼(focus, 조광 등 모두 9개소)과 핸드스위치, computer의 key-pad등에 할당하고 보턴 하나로 관찰조건을 재현할 수 있습니다.
• 고속고내구성 전동 Revolver, Motorized Coaxial Revolver,전동명시야 투광관, 전동Universal투광관,반사 Auto Focus Unit, Filter Wheel등의 각종 전동 Module을 준비하였습니다.이러한 전동 Module은 바로 옆의 핸드스위치와 computer에서 제어가능합니다.
• 모든 대물렌즈에서 완전한 동심을 얻을수 있는 (Motorized coaxial Quintple Revolver) U-P5REMC를 준비하였습니다.

장치편입대응

BXFM-S/BXFM

장치내장에 적합한 소형명시야투광관의 BXFM-S,Arm일체형의 명암시야 및 형광투광관을 부착가능한 BXFM의 2종류를 준비하였습니다.
어느쪽도 Fiber조영과 전동 Revolver, 결상렌즈 Unit등의 조합이 가능한 폭넓은 System으로 장치에의 조합을 간편하게 할 수 있습니다.

• 장치에의 편입을 용이하게 하는 소형의 Focusing Unit System, Fiber조명, 전종 Revolver, 결상렌즈 등의 각종의 Unit을 준비하였습니다.
• 투광관일체형 Arm의 채용에 의해 장치에의 편입을 간단하게 행할수 있습니다.
• 100W Halogen 조명에서는 조광, Lamp의 ON/OFF가 리모콘과 외부신호에서의 제어가능한 외부전원 TH4를 준비하였다.
• OLYMPUS의 무한원보정 광학계 UIS2는 단순히 세계최고 레벨의 상을 실현한 것만이 아닙니다. 경통내에 결상렌즈를 내장한 우수한 광학기술에 의한, 대물렌즈와 결상렌즈의 거리를 변화시켜도 배율의 변화와 상의 열화가 없는 높은 자유도의 광학시스템을 제공합니다. System구축과 장치에의 조합, 개조에 대한 요구에 대응하면서 광학성을 완벽히 끌어내는 것이 가능합니다.